Certus Standard - сканирующий зондовый микроскоп (СЗМ), базовая конфигурация.

Certus Standard — сканирующий зондовый микроскоп (СЗМ), базовая конфигурация

Certus Standard – базовая конфигурация сканирующего зондового микроскопа Certus, предназначенная для решения широкого класса исследовательских и аналитических задач.


В состав прибора входят:

  • сканирующая головка Certus;
  • Быстрый сканер XYZ для сканирования образцом
  • видеомикроскоп;
  • интегрированный подвижный столик для образца;
  • контроллер EG-3000;
  • программное обеспечение NSpec.
  • Возможность использования планшетных компьютеров

 

 

 

Режимы работы сканирующего зондового микроскопа Certus Standard:

  • атомно-силовой микроскоп (АСМ);
  • сканирующией туннельный микроскоп (СТМ);
  • сканирование датчиком Холла;
  • метод Кельвина;
  • другие методики.

Преимущества Certus Standard:

  • плоскопараллельное сканирование по осям X, Y,Z позволяет получать изображение поверхности и проводить последующее редактирование изображения с минимальными искажениями и потерями информации;
  • Сканирования как зондом (обычный сканер внутри сканирующей головки Certus), так и сверхбыстрым XYZ сканером образца.
  • плоскопараллельный подвод зонда к образцу решает проблему трудоемкого ручного подвода зонда к образцу. Подвод осуществляется тремя моторизированными опорами;
  • открытый дизайн сканирующей головки позволяет производить наблюдение за поверхностью исследуемого образца под углом 0-90°, устанавливать дополнительные устройства и оборудование;
  • модульная конфигурация позволяет устанавливать сканирующий зондовый микроскоп Certus Standard на традиционные оптические микроскопы (прямые или инвертированные), совмещать с оптическими приборами и модернизировать этот прибор до модификаций Certus Optic и Centaur;
  • реализованы основные СЗМ методики. Для изменения режима работы сканирующего зондового микроскопа (например, переход от работы в режиме атомно-силового микроскопа в режим сканирующего туннельного микроскопа) достаточно сменить держатель зондов.

 

A - Видео камера Moticam
B - Моторизованный механизм фокусировки
C - Оптический Микроскоп
D - Микробъектив 10x Mitutoyo
E - Быстрый сканер XYZ
F - Позиционирование образца
G - Сканирующая головка Certus

Латексные сферы, АСМ  изображение. Топография.

Латексные сферы на поверхности, обезвоженный образец. Изображение получено с помощью сканирующего зондового микроскопа Certus Standard в режиме атомно-силового микроскопа. Полуконтактный режим сканирования. Средний диаметр сфер порядка 94 нм.

Размер изображения 1х1 мкм, 300х300 точек. Топография.


Подробнее в галерее, статья Латексные сферы.

Держатели зондов. Для     кантилевера и tuning fork.

СЗМ головка поддерживает несколько типов съемных держателей зондов: для стандартных кантилеверов, для зондов туннельной микроскопии, для зондов типа tuning fork с вертикальным или горизонтальным расположением и для других типов. По требованию заказчиков наши инженеры могут разработать крепление практически под любые оригинальные зонды.

Для смены режима работы сканирующего зондового микроскопа достаточно сменить держатель зонда и подключить разъем.

При установке сканирующего зондового микроскопа в инертные боксы, ламинары, чистые зоны рекомендуется использовать несколько держателей с уже установленными зондами. В этом  случае через перходные камеры и шлюзы перемещаются только держатели. Непосредственно сам микроскоп перемещать не нужно.

Тестовая решетка

Si/SiO2 тестовая решетка.

Изображение получено с помощью видеомикроскопа СЗМ Certus Standard.

Тестовая решетка и зонд. Окно программы NSpec.

Si/SiO2 тестовая решетка и зонд.

Изображение получено с помощью видеомикроскопа СЗМ Certus Standard.  Окно программы NSpec.

Тестовая решетка и зонд

Si/SiO2 тестовая решетка и зонд.

Изображение получено с помощью видеомикроскопа СЗМ Certus Standard.

Si/SiO<sub>2</sub> тестовая решетка. АСМ изображение. Топография 3D.

Si/SiO2 тестовая решетка.

Изображение получено с помощью СЗМ Certus Standard.

Полуконтактный режим сканирования.

Размер изображения 30х30 мкм, 600х600 точек. Топография 3D.

Подробнее в галерее, статья Тестовые образцы.


Уникальный "открытый дизайн" СЗМ Certus позволяет использовать высокократные внешние объективы, осветители, конденсоры микроскопов и т.п. для освещения рабочей зоны, наблюдения за образцом и зондом, для подведения излучения в точку контакта зонда и образца.

Благодаря доступной цене и открытой конфигурации Certus Standard может позволить себе любая исследовательская лаборатория НИИ, ВУЗа или коммерческой организации. Кроме того,  Certus Standard представляет интерес для специалистов, научные интересы которых предполагают интеграцию сканирующего зондового микроскопа с уже имеющимся у них оптическим и спектральным оборудованием.

 



Основные параметры сканирующего зондового микросокопа Certus Standard:


Основные параметры
1
СЗМ головка
1.1
Встроенный XYZ сканер
1.1.1
Поле зрения СЗМ (диапазон сканирования) 200x200x15 μм
1.1.2
Резонансные частоты XY 1 кГц
1.1.3
Резонансные частоты Z 7 кГц
1.1.4
СЗМ пространственное разрешение (XY, латеральное) <1 нм
1.1.5
СЗМ пространственное разрешение (Z, вертикальное) <0.1 нм
1.1.6
Остаточная нелинейность <0.3%
1.2 Датчики перемещения
1.2.1 Тип датчиков Ёмкостные
1.2.2 Принцип измерения Время-цифровые преобразования
1.3 Система подвода сканирующей головки
1.3.1 Минимальный шаг
1 μм
1.3.2 Реализация системы подвода сканирующей головки Шаговые двигатели
1.3.3 Число шаговых двигателей 3
1.4 Позиционирование образца
1.4.1 Диапазон "грубого" позиционирования образца
5x5 мм
1.4.2 Реализация системы "грубого" позиционирования Микровинты
1.4.3 Точность позиционирования
~ 5 μм
2 Оптический микроскоп
2.1 Реализация визуализации
Цифровой видеомикроскоп
2.2 Регулировка увеличения Ручная
2.3 Диапазон точной настройки
5 мм
2.4 Регистрация видеоизображения
Цветная цифровая видеокамера
2.5 Подсветка Волоконный осветитель
2.6 Оптические параметры видеосистемы
2.6.1 Числовая апертура
0.3
2.6.2 Диагональ матрицы камеры
1/3”
2.6.3 Разрешение матрыцы камеры, px 1280x1024
2.6.4 Увеличение 85х/1050х
2.6.5 Поле зрения
4.50/ 0.37 мм
2.6.6 Интерфейс USB

Быстрый сканер

Тип плоский XYZ stage

Поле зрения СЗМ (диапазон сканирования)

40μmx40μmx5 μm

Резонансные частоты XY

10 кHz

Резонансные частоты Z

30 кHz

СЗМ пространственное разрешение (XY, латеральное)

<1 nm

СЗМ пространственное разрешение (Z, вертикальное)

<0.1 nm

Остаточная нелинейность

<0.3%

Датчики перемещения

Тип датчиков

Ёмкостные, дифференциальные

Максимальная скорость сканирования при XY разрешении 5 нм

50 линий/сек

 

 

 

Нано Скан Технология

доступные инновации