Ratis 1X stage

Ratis 1X – однокоординатный нанопозицонер

Ratis 1Xодно координатный позиционер,имеет компактные размеры,  универсальное применение.

Ratis 1X – плоскопараллельное устройство позиционирования и/или сканирования. Сканер представляет собой монолитное металлическое тело (из высококачественного сплава, обычно алюминиевого), в котором электроэрозией и другими методами прецизионной обработки сформированы каналы для пьезокерамических актюаторов, подвижные элементы столика и т.п. Такая конструкция обеспечивает отличную линейность и плоскостность перемещения, в отличие от классических сканеров на основе пьезотрубок, поверхностью сканирования в которых является сфера. Кроме того, плоскопараллельные сканер обладает высокой механической прочностью по сравнению с хрупкими пьезотрубками.


Ratis 1X снабжен оптическим датчиком перемещения, включенными в цепь цифровой обратной связи. Это обеспечивает высокую точность и линейность перемещения, устраняет эффекты дрейфа (creep) пьезокерамики.

Сканеры Ratis 1X работает под управлением универсального контроллера EG-1100 и программного обеспечения NSpec.

Пользователь, желающий использовать свой датчик какого-либо физического сигнала и при необходимости получать его распределения в нанометровом масштабе, приобретая подобный продукт избавляется от необходимости стандартных и рутинных работ по созданию подобной системы или закупки полноценного микроскопа, таким образом, экономя средства проекта и время.

В сканерах применяется технология с использованием Оптических датчиков.

Основные параметры:

Параметр
Ratis 1X
диапазон перемещений по XY, μm -
диапазон перемещений по оси Z, μm 120
резонансная частота по осям XY, kHz -
резонансная частота по оси Z, kHz 3
Точность перемещения, nm 1
максимальное отклонение от нормали на полном ходу < 0.01°
максимальная скорость сканирования, Гц (линий/сек) 100
максимальная масса образца, g 100

 

Нано Скан Технология

доступные инновации