Плазменное травление поверхности полимеров

Follow NanoScanTech on Twitter

Поверхность пленки ПЭТФ. Без обработки плазмой. АСМ изображение. Полу-контактный режим. Топография.

Поверхность пленки ПЭТФ. Травление плазмой 20 минут. АСМ изображение. Полу-контактный режим. Топография.

Поверхность пленки ПЭТФ. Травление плазмой 40 минут. АСМ изображение. Полу-контактный режим. Топография. Поверхность пленки ПЭТФ. Травление плазмой 60 минут. АСМ изображение. Полу-контактный режим. Топография.

Без травления

20 минут

40 минут

60 минут

Изменение топографии поверхности пленки полиэтилентерефталата (ПЭТФ) под действием плазмы в зависимости от времени воздействия.

 

Поверхность пленки ПЭТФ. Без обработки плазмой. АСМ изображение. Полу-контактный режим. Топография. Поверхность пленки ПЭТФ. Без обработки плазмой. АСМ изображение. Полу-контактный режим. "Фаза"
Поверхность пленки ПЭТФ. Без обработки плазмой. АСМ изображение. Полу-контактный режим. Топография 3D. Поверхность пленки ПЭТФ. Без обработки плазмой. АСМ изображение. Полу-контактный режим. Топография и сечение.
Профиль сечения пленки ПЭТФ без обработки плазмой. АСМ изображение. Полу-контактный режим сканирования. Топография.

Поверхность пленки полиэтилентерефталата (ПЭТФ). Без обработки плазмой. Изображение получено с помощью сканирующего зондового микроскопа Certus Standard в режиме атомно-силового микроскопа. Полуконтактный режим сканирования.

Размер изображений 5х5 μм, 500х500 точек.

Верхнее левое изображение - топография. Верхнее правое изображение - изображение в режиме "фазы".

Нижнее левое изображение - топография 3D. Нижнее правое изображение - топография и произвольное сечение.

Нижнее изображение - профиль в выбранном сечении.
Поверхность пленки ПЭТФ. Без обработки плазмой. АСМ изображение. Полу-контактный режим. Топография. Поверхность пленки ПЭТФ. Без обработки плазмой. АСМ изображение. Полу-контактный режим. "Фаза".
Поверхность пленки ПЭТФ. Без обработки плазмой. АСМ изображение. Полу-контактный режим. Топография 3D. Поверхность пленки ПЭТФ. Без обработки плазмой. АСМ изображение. Полу-контактный режим. Топография и сечение.
Профиль сечения пленки ПЭТФ без обработки плазмой. АСМ изображение. Полу-контактный режим сканирования. Топография.

Поверхность пленки полиэтилентерефталата (ПЭТФ). Без обработки плазмой. Изображение получено с помощью сканирующего зондового микроскопа Certus Standard в режиме атомно-силового микроскопа. Полуконтактный режим сканирования.

Размер изображений 1,5х1,5 μм, 300х300 точек.

Верхнее левое изображение - топография. Верхнее правое изображение - изображение в режиме "фазы".

Нижнее левое изображение - топография 3D. Нижнее правое изображение - топография и произвольное сечение.

Нижнее изображение - профиль в выбранном сечении.
Поверхность пленки ПЭТФ. Травление плазмой 20 минут. АСМ изображение. Полу-контактный режим. Топография. Поверхность пленки ПЭТФ. Травление плазмой 20 минут. АСМ изображение. Полу-контактный режим. "Фаза".
Поверхность пленки ПЭТФ. Травление плазмой 20 минут. АСМ изображение. Полу-контактный режим. Топография 3D. Поверхность пленки ПЭТФ. Травление плазмой 20 минут. АСМ изображение. Полу-контактный режим. Топография и сечение.
Профиль сечения пленки ПЭТФ после 20 минут обработки плазмой. АСМ изображение. Полу-контактный режим сканирования. Топография.

Поверхность пленки полиэтилентерефталата (ПЭТФ). Обработка в плазме 20 минут. Изображение получено с помощью сканирующего зондового микроскопа Certus Standard в режиме атомно-силового микроскопа. Полуконтактный режим сканирования.

Размер изображений 5х5 μм, 500х500 точек.

Верхнее левое изображение - топография. Верхнее правое изображение - изображение в режиме "фазы".

Нижнее левое изображение - топография 3D. Нижнее правое изображение - топография и произвольное сечение.

Нижнее изображение - профиль в выбранном сечении.
Поверхность пленки ПЭТФ. Травление плазмой 20 минут. АСМ изображение. Полу-контактный режим. Топография. Поверхность пленки ПЭТФ. Травление плазмой 20 минут. АСМ изображение. Полу-контактный режим. "Фаза".
Поверхность пленки ПЭТФ. Травление плазмой 20 минут. АСМ изображение. Полу-контактный режим. Топография 3D. Поверхность пленки ПЭТФ. Травление плазмой 20 минут. АСМ изображение. Полу-контактный режим. Топография и сечение.
Профиль сечения пленки ПЭТФ после 20 минут обработки плазмой. АСМ изображение. Полу-контактный режим сканирования. Топография.

Поверхность пленки полиэтилентерефталата (ПЭТФ). Обработка в плазме 20 минут. Изображение получено с помощью сканирующего зондового микроскопа Certus Standard в режиме атомно-силового микроскопа. Полуконтактный режим сканирования.

Размер изображений 1,5х1,5 μм, 300х300 точек.

Верхнее левое изображение - топография. Верхнее правое изображение - изображение в режиме "фазы".

Нижнее левое изображение - топография 3D. Нижнее правое изображение - топография и произвольное сечение.

Нижнее изображение - профиль в выбранном сечении.
Поверхность пленки ПЭТФ. Травление плазмой 40 минут. АСМ изображение. Полу-контактный режим. Топография. Поверхность пленки ПЭТФ. Травление плазмой 40 минут. АСМ изображение. Полу-контактный режим. "Фаза".
Поверхность пленки ПЭТФ. Травление плазмой 40 минут. АСМ изображение. Полу-контактный режим. Топография 3D. Поверхность пленки ПЭТФ. Травление плазмой 40 минут. АСМ изображение. Полу-контактный режим. Топография и сечение.
Профиль сечения пленки ПЭТФ после 40 минут обработки плазмой. АСМ изображение. Полу-контактный режим сканирования. Топография.

Поверхность пленки полиэтилентерефталата (ПЭТФ). Обработка в плазме 40 минут. Изображение получено с помощью сканирующего зондового микроскопа Certus Standard в режиме атомно-силового микроскопа. Полуконтактный режим сканирования.

Размер изображений 5х5 μм, 500х500 точек.

Верхнее левое изображение - топография. Верхнее правое изображение - изображение в режиме "фазы".

Нижнее левое изображение - топография 3D. Нижнее правое изображение - топография и произвольное сечение.

Нижнее изображение - профиль в выбранном сечении.
Поверхность пленки ПЭТФ. Травление плазмой 40 минут. АСМ изображение. Полу-контактный режим. Топография. Поверхность пленки ПЭТФ. Травление плазмой 40 минут. АСМ изображение. Полу-контактный режим. "Фаза".
Поверхность пленки ПЭТФ. Травление плазмой 40 минут. АСМ изображение. Полу-контактный режим. Топография 3D. Поверхность пленки ПЭТФ. Травление плазмой 40 минут. АСМ изображение. Полу-контактный режим. Топография и сечение.
Профиль сечения пленки ПЭТФ после 40 минут обработки плазмой. АСМ изображение. Полу-контактный режим сканирования. Топография.

Поверхность пленки полиэтилентерефталата (ПЭТФ). Обработка в плазме 40 минут. Изображение получено с помощью сканирующего зондового микроскопа Certus Standard в режиме атомно-силового микроскопа. Полуконтактный режим сканирования.

Размер изображений 1,5х1,5 μм, 300х300 точек.

Верхнее левое изображение - топография. Верхнее правое изображение - изображение в режиме "фазы".

Нижнее левое изображение - топография 3D. Нижнее правое изображение - топография и произвольное сечение.

Нижнее изображение - профиль в выбранном сечении.
Поверхность пленки ПЭТФ. Травление плазмой 60 минут. АСМ изображение. Полу-контактный режим. Топография. Поверхность пленки ПЭТФ. Травление плазмой 60 минут. АСМ изображение. Полу-контактный режим. "Фаза".
Поверхность пленки ПЭТФ. Травление плазмой 60 минут. АСМ изображение. Полу-контактный режим. Топография 3D. Поверхность пленки ПЭТФ. Травление плазмой 60 минут. АСМ изображение. Полу-контактный режим. Топография и сечение.
Профиль сечения пленки ПЭТФ после 60 минут обработки плазмой. АСМ изображение. Полу-контактный режим сканирования. Топография.

Поверхность пленки полиэтилентерефталата (ПЭТФ). Обработка в плазме 60 минут. Изображение получено с помощью сканирующего зондового микроскопа Certus Standard в режиме атомно-силового микроскопа. Полуконтактный режим сканирования.

Размер изображений 5х5 μм, 500х500 точек.

Верхнее левое изображение - топография. Верхнее правое изображение - изображение в режиме "фазы".

Нижнее левое изображение - топография 3D. Нижнее правое изображение - топография и произвольное сечение.

Нижнее изображение - профиль в выбранном сечении.
Поверхность пленки ПЭТФ. Травление плазмой 60 минут. АСМ изображение. Полу-контактный режим. Топография. Поверхность пленки ПЭТФ. Травление плазмой 60 минут. АСМ изображение. Полу-контактный режим. "Фаза".
Поверхность пленки ПЭТФ. Травление плазмой 60 минут. АСМ изображение. Полу-контактный режим. Топография 3D. Поверхность пленки ПЭТФ. Травление плазмой 60 минут. АСМ изображение. Полу-контактный режим. Топография и сечение.
Профиль сечения пленки ПЭТФ после 60 минут обработки плазмой. АСМ изображение. Полу-контактный режим сканирования. Топография.

Поверхность пленки полиэтилентерефталата (ПЭТФ). Обработка в плазме 60 минут. Изображение получено с помощью сканирующего зондового микроскопа Certus Standard в режиме атомно-силового микроскопа. Полуконтактный режим сканирования.

Размер изображений 1,5х1,5 μм, 300х300 точек.

Верхнее левое изображение - топография. Верхнее правое изображение - изображение в режиме "фазы".

Нижнее левое изображение - топография 3D. Нижнее правое изображение - топография и произвольное сечение.

Нижнее изображение - профиль в выбранном сечении.
Зависимость удельной площади поверхности пленки ПЭТФ от времени обработки в плазме.
Зависимость удельной площади поверхности пленки ПЭТФ от времени травления в плазме. Черная линия - произвольно выбранные участки 5х5 мкм. Красная линия - участки 1,5х1,5 мкм с относительно небольшим перепадом высот.

Образцы предоставлены к.х.н А.А.Чалых. Институт физической химии и электрохимии имени А. Н. Фрумкина РАН (ИФХЭ РАН).

Латексные сферы покрытые пленкой воды, АСМ изображение. Режим "фазы".

Статья  "Латексные микросферы" Галерея Статья "Капли клея на подложке"

Фрагмент капли клея на стеклянной подложке. АСМ изображение. Полу-контактный режим сканирования. "Фаза".